La unidad de filtrado de la fan de SUS304 Hepa FFU galvanizó flujo de aire laminar de la hoja

Nuevo tipo unidad de filtrado de la fan del sitio limpio FFU del flujo de aire laminar FFU

La flexibilidad del sistema de limpieza es muy importante para las fábricas de IC debido a su alta flexibilidad y alta tarifa de la cobertura. Si la limpieza en el taller necesita el ajuste regional como los cambios de proceso, la limpieza en áreas locales puede ser cambiada cambiando el volumen de aire de FFU o substituyendo la placa ciega. Cuando está cubierta denso, la tarifa de la cobertura puede alcanzar 85,5%.

El techo superior del FFU es la presión negativa, que puede desempeñar un papel del lacre de la presión negativa. La presión de aire en el techo es presión negativa, y la presión de aire en la limpieza es mayor que la presión en el espacio del techo. Si hay un hueco entre el FFU y el sello del soporte, la presión negativa evitará que el aire que no pasa a través del filtro de HEPA entre en el cuarto, que es conducente a asegurar la limpieza del cuarto limpio.

La resistencia del sistema de aire es pequeña, la velocidad del viento en el mercado de aire es baja, y el área de barlovento del FFU es grande, y la resistencia del flujo de aire está sobre 50Pa; El área seccional del tubo de aire de vuelta es también grande, y la resistencia del tubo de aire de vuelta está dentro de 15Pa; La resistencia del piso perforado y de la parrilla es pequeña. La resistencia total del aire de vuelta (piso perforado incluyendo y tubo de aire de la parrilla), de la resistencia de FFU y de la resistencia del filtro final es menos que 250Pa. La velocidad del viento del mercado de FFU es generalmente 0.38~0.45m/s.

El consumo de energía baja por volumen de aire de la unidad después de que se adopte FFU, allí no es ninguna necesidad de añadir una fan del aumentador de presión y un cuarto especial de la máquina, y la resistencia de la tubería del suministro de aire se evita. Cuando el motor de DC/EC (rectificador electrónico) se adopta para FFU, la eficacia del motor puede alcanzar el 75%~80%, y cada sistema puede conducir el control de regla de la velocidad según caída de voltaje del filtro para ahorrar el consumo de energía. Por lo tanto, el consumo de energía por volumen de aire de la unidad es generalmente más bajo que el sistema centralizado de fans centrífugas grandes.